在半導(dǎo)體封裝技術(shù)中，晶圓凸點作為芯片與外部電路連接的關(guān)鍵結(jié)構(gòu)，其粘附性的好壞直接關(guān)系到封裝件的可靠性和使用壽命。為了確保晶圓凸點與基板或封裝材料之間形成良好的電氣和機械連接，等離子清洗機處理成為了一道至關(guān)重要的工序。
等離子清洗機是一種利用高頻電場激發(fā)氣體形成等離子體，進而對材料表面進行清洗和改性的技術(shù)。在晶圓凸點處理過程中，等離子清洗機主要通過以下幾個方面影響凸點的粘附性：
一、表面清潔作用
等離子清洗機能夠徹底去除晶圓凸點表面的各種污染物，包括有機殘留物、氧化物、微粒等。這些污染物會阻礙凸點與基板之間的有效接觸，降低粘附力。通過等離子清洗，凸點表面變得干凈、光滑，為后續(xù)的焊接或鍵合過程提供了良好的條件，從而提高了粘附性。
二、表面活化作用
等離子體中的高能粒子與晶圓凸點表面發(fā)生碰撞，會打斷表面的化學(xué)鍵，形成新的活性基團。這些活性基團具有較高的反應(yīng)活性，能夠與基板或封裝材料表面的原子或分子發(fā)生化學(xué)鍵合，從而增強凸點與基板之間的粘附力。此外，表面活化還可以改善凸點的潤濕性，使得焊接材料更容易在凸點表面鋪展，進一步提高了粘附性。
三、表面粗糙度調(diào)整
等離子清洗機在處理過程中還可以對晶圓凸點表面進行微細的粗糙化處理。適當(dāng)?shù)谋砻娲植诙瓤梢栽黾油裹c與基板之間的接觸面積，提供更多的機械咬合點，從而提高粘附力。同時，粗糙的表面還可以增強焊接材料在凸點表面的附著力，使得焊接接頭更加牢固。
四、工藝參數(shù)的可控性
等離子清洗機的工藝參數(shù)，如氣體種類、功率、處理時間等，都可以根據(jù)具體的晶圓凸點材料和封裝要求進行精確調(diào)整。這種可控性使得等離子清洗機能夠適應(yīng)不同種類的晶圓凸點處理需求，確保處理效果的一致性和穩(wěn)定性。通過優(yōu)化工藝參數(shù)，可以進一步提高晶圓凸點的粘附性，確保封裝件的可靠性。
