在線式真空等離子設備-PR-IL05-S
PR-IL05-S
特點：
1、進料流水線運動模組采用伺服電機+滾珠絲桿模組運動，有效保證精度，降低塵污；
2、真空腔內置2條軌道，可一次處理2片物料， UPH可達90拼板/小時；
3、所有運動機構均采用成熟運動方案，設備穩(wěn)定性及故障率得以有效控制。
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1、進料流水線運動模組采用伺服電機+滾珠絲桿模組運動，有效保證精度，降低塵污；
2、真空腔內置2條軌道，可一次處理2片物料， UPH可達90拼板/小時；
3、所有運動機構均采用成熟運動方案，設備穩(wěn)定性及故障率得以有效控制。
| 編號 | 內容 | 規(guī)格參數(shù) |
|---|---|---|
| 1 | 整機規(guī)格 | L1300mm*W1300mm*H2200﹢50/﹣30mm（包含F(xiàn)FU及報警指示燈等） |
| 2 | 進出料方式 | 流水線全自動進出料 |
| 3 | 放電結構 | 真空容式輝光放電 |
| 4 | 處理溫度 | ≤50℃ |
| 5 | 單次處理載板數(shù) | 2片 |
| 6 | 載板最大尺寸 | （170-270）*（65-85）*（1-5）mm |
| 7 | 設備產能 | 理論值≥90載板/小時（依據(jù)plasma處理時間15秒計算） |
| 8 | 凈化防護 | 百級FFU凈化過濾系統(tǒng) |
| 特點： 1、進料流水線運動模組采用伺服電機+滾珠絲桿模組運動，有效保證精度，降低塵污； 2、真空腔內置2條軌道，可一次處理2片物料， UPH可達90拼板/小時； 3、所有運動機構均采用成熟運動方案，設備穩(wěn)定性及故障率得以有效控制。 用 途：IC封裝中引線框架上點膠裝片、芯片鍵合及塑封等工藝前清洗 在線式真空等離子清洗機自動搬運物料的設計要求,與常規(guī)等離子清洗系統(tǒng)相比,降低了人工搬運過成,提高了設備自動化水平。 |
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