PM120L/PM180L等離子處理機(jī)
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| 編號(hào) | 內(nèi)容 | 規(guī)格參數(shù) |
|---|---|---|
| 1 | 機(jī)臺(tái)整機(jī)規(guī)格 | PM120L: 1320(W)×1720(H)×1030(D)mm PM180L: 1400(W)×1720(H)×1050(D)mm |
| 2 | 真空室規(guī)格 | 550(W)×635(H)×535(D)mm |
| 3 | 電極板規(guī)格 | PM120L: 10層平板式電極板（470(W)×410(D)mm）可定制 PM180L: 10層平板式電極板（530(L)×400(W)mm）可定制 |
| 4 | 控制系統(tǒng) | 觸摸屏+PLC控制 |
| 5 | 真空測(cè)定系統(tǒng) | 皮拉尼電阻式真空計(jì) |
| 6 | 氣體計(jì)量系統(tǒng) | 精確質(zhì)量流量控制計(jì) MFC |
| 7 | 氣體路數(shù) | 2—5路工作氣體可選：Ar2、N2、H2、CF4、O2 |
| 8 | 等離子發(fā)生器 | 500W&1KW等離子體發(fā)生源，40KHz（可選13.56MHz） |
| 9 | 工作氣體 | 2路工作氣體可選：Ar2、N2、H2、O2 |
| 特 點(diǎn)：高精度，快響應(yīng)，良好的操控性和兼容性，完善的功能和專業(yè)的技術(shù)支持。 用 途：適用于攝像頭及行業(yè)，手機(jī)制造、半導(dǎo)體IC領(lǐng)域，硅膠、塑膠、聚合體領(lǐng)域，汽車電子行業(yè)，航空工業(yè)等。 1、攝像頭、指紋識(shí)別行業(yè)：軟硬結(jié)合板的金PAD表面去氧化；IR表面清洗、清潔； 2、半導(dǎo)體IC領(lǐng)域：COB、COG、COF、ACF工藝，用于打線、焊接前的清洗 ； 3、硅膠、塑膠、聚合體領(lǐng)域：硅膠、塑膠、聚合體的表面粗化、刻蝕、活化。 |
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